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不銹鋼蚌殼袋式過濾器在光刻機(jī)中的作用

日期:2023-11-08    發(fā)布人:杭州菲躍   閱讀量:0

不銹鋼蚌殼袋式過濾器在光刻機(jī)中的作用

 

不銹鋼蚌殼袋式過濾器在光刻機(jī)中的作用是用于過濾光刻液中的微小顆粒和雜質(zhì),以保證光刻液的純凈度和穩(wěn)定性。光刻液是在半導(dǎo)體制造過程中用于制作芯片的關(guān)鍵材料之一,其中包含了光刻膠和各種化學(xué)溶液。

 

光刻液中的微小顆粒和雜質(zhì)會對芯片的制造過程和質(zhì)量產(chǎn)生不良影響,因此需要通過過濾來去除它們。不銹鋼蚌殼袋式過濾器具有較高的過濾精度和流量,能夠有效地過濾掉光刻液中的微小顆粒和雜質(zhì)。

 

不銹鋼蚌殼袋式過濾器在光刻機(jī)中的作用


在光刻機(jī)中,光刻液通過管道系統(tǒng)流動,經(jīng)過不銹鋼蚌殼袋式過濾器時,其中的微小顆粒和雜質(zhì)會被過濾器的濾袋捕捉住,而純凈的光刻液則繼續(xù)流向下游的工藝步驟。通過使用不銹鋼蚌殼袋式過濾器,可以有效地提高光刻液的純凈度,保證光刻過程的穩(wěn)定性和芯片的質(zhì)量。


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